เครื่องวัดโปรไฟล์ 3D แบบไม่สัมผัส

โพรไฟโลมิเตอร์ 3 มิติ แบบไม่สัมผัส

NANOVEA Optical Profiler คือโพรไฟโลมิเตอร์ 3 มิติ แบบไม่สัมผัส ออกแบบด้วยเทคโนโลยี Chromatic Confocal ซึ่งใช้ความยาวคลื่นแสงเพื่อกำหนดความสูงทางกายภาพได้อย่างแม่นยำ Optical Profilers NANOVEA ที่นำเสนอมีทั้งรุ่นขนาดกะทัดรัด แบบตั้งพื้น และแบบพกพา เซ็นเซอร์ความเร็วสูงมีให้เลือกใช้เพื่อสแกนพื้นผิวขนาดใหญ่ด้วยความแม่นยำสูง

ด้วยการสแกนโพรไฟโลมิเตอร์เพียงครั้งเดียว สามารถทำการวัดได้หลากหลาย เช่น ความเป็นคลื่น 3 มิติ ความขรุขระ ความสูงของขั้นบันได และ/หรือ ความหนาของฟิล์ม ไปจนถึงการวิเคราะห์แฟรกทัลขั้นสูง และการจำแนกลักษณะโครงสร้างจุลภาค/อนุภาค

เทคโนโลยี Chromatic Confocal ใช้แสงสีขาวที่ส่องผ่านชุดเลนส์ที่มีความคลาดสีสูง ความยาวคลื่นแต่ละช่วงจะโฟกัสที่ระยะทางที่แตกต่างกัน ทำให้เกิดช่วงการวัดในแนวตั้ง เมื่อพื้นผิวที่สนใจอยู่ในช่วงนั้น ความยาวคลื่นเดียวของแสงสีขาวจะอยู่ในโฟกัส ในขณะที่ความยาวคลื่นอื่นๆ จะไม่อยู่ในโฟกัส เฉพาะความยาวคลื่นที่โฟกัสเท่านั้นที่จะผ่านตัวกรองรูเข็มเพื่อไปยังสเปกโตรมิเตอร์ CCD ความยาวคลื่นทางกายภาพที่วัดได้จะสอดคล้องกับตำแหน่งแนวตั้ง

PS50	ST400	ST500
JR25	JR100	AFMPRO
IN-LINE PROFILER